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應用熱壓崁入技術製作電容式壓力感測器 - 大同大學
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日期：2024-05-20
MechanicalSystem,MEMS)與熱壓技術製作電容式壓力感器。模具方面可分 ..... [3]，
其主要利用平板電容原理進行量測，受壓力作用時兩平行板間距離改. 變造成電容 ......看更多
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