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![半導體製程及原理]()
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![雷射加工原理與應用 - 南台科技大學知識分享平台: EshareInfo]()
eshare.stust.edu.tw雷射加工原理與應用 班級：四技自控四甲 姓名:郭燿榮 學號:49512012 指導老師:蕭瑞陽 老師 雷射切割機 雷射切斷的特色 1.切斷的尺寸精度不因材料硬度而變，易得0.1mm的 ...瀏覽：757
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電漿的基礎原理 2 目標 • 列出至少三種用到電漿的半導體製程 • 列出電漿中的主要三種碰撞 • 說明平均自由路徑 • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程 • 列出兩 ......
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日期：2024-04-21
半導體製程設備 技術 Semiconductor Technology-Process and Equipment 作 者 楊子明、鍾昌貴、沈志彥、李美儀、吳鴻佑、詹家瑋 出版社別 五南 出版日期 ......
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日期：2024-04-21
物理雙月刊（廿八卷二期）2006 年4 月 440 電漿源原理與應用之介紹 文/張家豪，魏鴻文，翁政輝，柳克強 李安平，寇崇善 吳敏文，曾錦清，蔡文發，鄭國川 摘要 電漿科技已廣泛應用於科學研究及工業製程，成為現代科技的重要指標。...
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電漿輔助化學氣相沈積（PECVD）是CVD技術中的一種，其沈積原理與一般CVD並
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3-1 蒸鍍(Evaporation)原理. 蒸鍍是 ..... PECVD的沈積原理與一般的CVD之間並沒有太大的差異。電漿中的 ......
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