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五南文化廣場網路書店 - 矽晶圓半導體材料技術(精)(96/12 2版)

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日期：2024-05-14
... 的方式敘述，除了介紹矽晶圓工業的歷史演進與產業現況之外，尚包含了以下單元：矽晶的基本性質、多晶矽的製造技術、單晶生長、矽晶缺陷、矽晶之加工成型、性質檢測等單元。作者將本書的重點放在矽晶圓製造流程的介紹上。適用於晶圓半導體材料 ......看更多

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