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什么是天线效应_百度文库
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日期：2025-05-27
什么是天线效应在芯片生产过程中，暴露的金属线或者多晶硅(polysilicon)等导体，就象是一根根天线，会收集电荷（如等离子刻蚀产生的带电粒子）导致电位升高。...看更多
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