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以常壓電漿在光學塑膠基板上沉積氧化矽薄膜之研究 - 成功 ...
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日期：2025-05-22
2-4常壓電漿技術背景 19 2-5化學氣相沈積法(Chemical Vapor Deposition) 24 2-6 薄膜沈積機制 25 2-7電漿輔助化學氣相反應(PECVD)原理 29 2-8 常壓冷電漿鍍膜 ......看更多
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