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何謂光微影技術?和其步驟- Yahoo!奇摩知識+
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日期:2024-05-24
光微影技術一般在半導體製程上都會用到。它利用光罩來遮蔽你要曝光的地方。一般
在wafer上面都會塗上光阻,曝光完以後就拿去洗。 步驟: 清洗晶 ......看更多