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何謂微影技術? - Yahoo!奇摩知識+
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日期:2024-05-25
微影之定義,就是將光罩(Photo mark)上之圖案(Pattem)轉移至光阻(Photoresist)
上面,由於光阻材料之正負性質不同,經顯影(Develop)後,光阻圖案會 ......看更多