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光學式雷射即時偵測雙軸精密定位系統之研製童景賢機械工程 ...
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日期:2024-05-01
移加上微動位移的兩段式定位為主,而位移量幾乎都以雷射干涉儀進行回授控制。 ... 雷射干涉儀價格昂貴,使得線上檢測極為耗費成本且部分平台結構及傳動元件取自 ......看更多