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关于DC BIAS本人不是很了解，请指教- Etching&Clean - 半导体技术天地芯 ...
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日期：2025-05-04
我想知道DC BIAS在腐蚀腔体中是从哪一部分到哪的偏压？ ... 比如Vpp的含义，与DC bias的关系是什么，还有self bias产生的原理，我特别想知道这个，可惜一直找不到比较 ......看更多
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