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利用電子束蒸鍍在ZnO/Glass 上沉積氧化鋁薄膜以 ... - 大同大學
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日期：2025-06-04
26.8 %，證實以電子束蒸鍍法成長高波速Al2O3 薄膜可以提升表面聲波. 元件波速，
降低成本並縮短製程時間，將來可以提供作為高頻表面聲波 .... 2-2 壓電特性與表面
聲波原理. ..... 圖2-7 電子束蒸鍍機示意圖....看更多
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