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利用電子束蒸鍍法沉積氧化鋁緩衝層以作為高頻氧化 ... - 大同大學
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日期：2025-06-07
證實以電子束蒸鍍法成長高波速緩衝層可以降. 低成本，並縮短製程 ... 圖2.8 電子束
蒸鍍機. 17. 圖2.9 Rayleigh 波的 ..... 鍍法，有關濺鍍法與電子束蒸鍍法的原理以及優
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