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力鼎精密股份有限公司- 乾式蝕刻(PVD、物理氣相沈積、真空鍍膜、高 ...
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日期：2025-06-02
乾式蝕刻. Caprica 200/300. Caprica 是一台全自動化、多腔室的高密度電漿蝕刻
系統，Caprica 使用感應耦合式電漿(ICP)產生高密度電漿，同時配備靜電吸附式氦氣
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