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半導體潔淨室的節能對策與分析 - 《半導體科技．先進封裝與測試》雜誌
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日期：2025-05-17
"蔡俊宏、蕭銘召、郭榮昌、張勤國、饒木禎、鍾光耀、張均碩、張仲傑 / 聯華電子Fab8E廠 半導體廠房的潔淨室建造成本極為昂貴，建造一座8吋晶圓廠(不含製程機台)動輒三、四十億元。除此之外，潔淨...看更多
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