半導體潔淨室的節能對策與分析- 《半導體科技.先進封裝與 ...

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日期:2025-12-11
"蔡俊宏、蕭銘召、郭榮昌、張勤國、饒木禎、鍾光耀、張均碩、張仲傑/ 聯華電子Fab8E廠 半導體廠房的潔淨室建造成本極為昂貴,建造一座8吋晶圓廠(不含製程機台) ......看更多