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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 結合氫氣乾式蝕刻及氣-固-液相成長機制製作矽的奈米線及鍺的奈米結構 ...
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日期：2024-05-10
由於半導體奈米線具有特殊之光電特性，可用來探討量子力學對材料性質的影響，同時在積體電路和光學的應用又極具潛力，因此各種不同合成方法不斷地被提出，並引起廣泛的重視。本實驗結合乾式蝕刻及氣-固-液相(vapor-liquid-solid, VLS)成長機制來製作矽 ......看更多
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