半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 黃光微影製程中的氣體應用 - Semicondutor Magazine

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日期:2025-05-27
準分子雷射 而用於產生所需波長的光源是準分子(excimer)氣體雷射,並導入含有鹵素和惰性氣體的混合氣體。氪氟(KrF)準分子雷射可發射出 248nm 波長的光源,而氬氟(ArF)雷射則可產生 193nm 的光子。...看更多