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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - TFT-LCD產業PFCs排放減量現況評估 - Semicondutor Magazine
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日期：2025-10-23
氟化合物(PFCs)排放減量一直以來都是全球所關注的議題，隨著近來TFT-LCD產業的快速發展，其PFCs的使用量及排放量也日益增加。本研究使用傅利葉轉換紅外光譜分析儀(FTIR)與質流量換算法於TFT-LCD廠內，評估Tier 2C Method裡的Local Scrubber處理效率(ai ......看更多
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