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日期:2025-06-24
半導體製程 簡介 整整理理::張張奇奇龍龍博博士士 資資料料來來源源::台台灣灣應應用用材材料料((股股))公公司司 ... 對蝕刻製程 有物理性與化學性兩方面的影響。首先,電漿會將蝕 刻氣體分子分解,產生能夠快速蝕去材料的高活性分子。此外 ......看更多