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日期:2024-05-26
轟擊,此即直流濺鍍機(DC sputtering)的最基本原理。由上述的討論 ... 圖A.1 直流電
漿產生示意圖[16] ... 此一電位為RF 電漿獨有的DC 電位自我調降,稱為"自我偏壓....看更多