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國立中央大學
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日期：2024-06-09
濃縮及調配再生處理之光阻劑廢液，仍然能通過塗佈膜厚15000 ± 500 Å、均勻度. < 2.5%及含水率< ... 關鍵字：光阻劑、重複回收、冷風濃縮設備、塗佈膜厚預測方程式 ...... 手：(1)減少光罩製程次數；(2)更新塗佈設備光阻塗佈方式；(3)使用再生光阻劑；....看更多
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