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塗佈 - SUSS MicroTec
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日期:2025-05-28
可採用不同方法塗佈感光塗層或其它材料。 因此需要將基板,通常為矽晶圓,壓固在一個轉盤上。 接著,在基板表面塗抹溶液。晶圓結構是選擇塗膠方式的決定性因素。...看更多