壓電微型加速度計之製作與特性量測

壓電微型加速度計之製作與特性量測

瀏覽:940
日期:2025-05-07
第八屆奈米工程暨微系統技術研討會 93年12 月2、3 日,國立清華大學 *聯絡作者: jcyu@ccms.nkfust.edu.tw 1 壓電微型加速度計之製作與特性量測 何建龍 余志成* 國立台灣科技大學 國立高雄第一科技大學 機械工程系 機械與自動化工程系...看更多