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大氣電漿被覆表面鍍膜之製程技術改善與鍍膜特性研究| eTop

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日期：2024-05-11
本研究計畫在國科會、暉盛科技公司及南台科技大學的合作下，嘗試將用於半導體元件製程清洗用的大氣電漿系統，開發成可以在工件表面沉積SiO2 表面鍍膜的製程 ......看更多

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