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奈米半導體材料之氣體感測性質
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日期:2024-05-11
半導體金屬氧化物氣體感測材料由於對氣體有很好的靈敏度、材料成本低廉、元件
製作簡單,. 可作成體積 ... 會與氣體濃度的改變成一定關係作為偵測原理. [4-9]。就感
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