奈米通訊。第五卷第四期 39.以室溫陽極氧化法成長高品質複晶矽上

奈米通訊。第五卷第四期 39.以室溫陽極氧化法成長高品質複晶矽上

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日期:2025-10-09
第五卷第四期 以室溫 陽極氧化法成長高品質複晶矽上 二氧化矽膜 劉政樹、江明崇 國家奈米元件實驗室 一、前言與摘要 ......看更多