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宜特科技-分析、檢測與可靠度 - 【9/25新竹場】先進製程TEM材料分析研討會
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日期:2025-05-19
先進製程的開發是否到位,材料之結構與元素分析能力往往是關鍵,尤其當製程進入28奈米以下世代,奈米元件尺寸不斷微縮,各端連接線結構極為細緻,在此細微結構下,往往會因材料表面與微結構的汙染或缺陷,使得其物性、電性及化性起變化,干擾 ......看更多