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射頻電容耦合電漿源中的電漿電位/張志振 - 機械工業雜誌
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日期：2025-06-02
電容耦合電漿源. CCP. ‧射頻. RF. ‧電漿電位. Plasma Potential. 摘要. 矽薄膜太陽
電池的電漿製程程序中所使用的射. 頻電容 ......看更多
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