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干刻蚀对于不同负载效应造成选择比差异导致的缺陷分析与解决方案_ ...
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日期：2025-06-19
2011年6月11日 - 然而这种负载效应影响到干刻蚀的蚀刻率(Etch Rate)和选择比(Selectivity)而在产品上出现严重的缺陷。本文阐述了负载效应的基本原理和造成选择 ......看更多
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