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微型壓阻式壓力感測器製作之研究__臺灣博碩士論文知識加值系統
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日期：2024-05-15
摘要本研究應用微機電製程技術之表面微細加工技術製作陣列式微型壓阻式壓力 ...
在製程方面以表面微細加工技術製作微壓力感測器的主要步驟有18個，應用到的 ...
第三章壓阻式微壓力感測器原理24 .... 壓阻式壓力感測器應用於電子式胎壓計之研究
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