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微机电系统- 维基百科，自由的百科全书
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日期：2025-09-26
微机电系统（英语：Microelectromechanical Systems，缩写为MEMS）是将微电子
技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。比它更小
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