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微機構的元件型式與運動特性 - 微感測器與致動器產學聯盟
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日期：2025-05-09
致動器（comb drive）驅動的微光學掃. 描面鏡系統[2]。以面型微加工技術. (surface micromachining) 製作的梳狀. 致動器，廣泛應用於微機電系統，其. 致動特性為 ......看更多
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