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電漿技術於清潔製程之應用 - 臺灣大學圖書館＊公開取用電子書
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日期：2024-05-27
1 電漿技術於清潔製程之應用 梁國超博士 gtliang@creating-nanotech.com 馗鼎奈米科技股份有限公司 中華民國九十三年七月十三、十四日 2 大綱 電漿為一熱力學非平衡狀態, 電漿中分佈了多種形態的高能量粒子, 利用 電漿, 可以將適當的氣體分子如O...看更多
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