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奈米通訊。第六卷第三期 36.雙鑲嵌結構製作技術簡介
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日期：2025-12-02
... 精確控制及一致化。若未加上此一蝕刻終止層的話，由於乾蝕刻之不均勻性(non-uniformity)、 微負載效應 ......看更多
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