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投影片 - 台灣大學化學系
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日期：2025-06-24
目的: 利用電漿內的高能電子，撞及製程的氣體分 子，斷裂 化學鍵後，可提高其 活性
。 ... 原理: 利用電漿將argon游離成Ar+離子和電子，再以電場加速Ar+離子使其撞及 ......看更多
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