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旋轉塗佈手指狀不穩定之控制

旋轉塗佈手指狀不穩定之控制

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日期：2025-04-28
旋轉塗佈之原理是利用馬達. 帶動一轉盤，吸附著晶圓進行旋. 轉，晶圓表面之液滴受離心力作. 用不斷向外 ......看更多

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