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材料世界網:OES技術於電漿製程監測之應用
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日期：2025-11-04
OES技術於電漿製程監測之應用 2004/9/5 [ 友 善 列 印 | 推 薦 好 友 ] 本文討論光放射光譜(Optical Emission Spectroscopy; OES)之原理和電漿製程監測之應用。OES技術為一種非侵入式量測，適合電漿之診斷。藉由收光器將電漿內受激原子、離子、分子之放光訊號 ......看更多
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