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橢圓偏光儀 FE-5000 - 橢圓偏振術量測橢圓參數（cosΔ、tanψ）/分析薄膜光學常數、折射係數、消光係數 - 大塚 ...
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日期：2024-05-12
橢圓偏光術量測橢圓參數（cosΔ、tanψ）、分析薄膜厚度、光學常數（n:折射係數、k:消光係數）可得到超薄膜更詳盡的數據 ... 半導體晶圓 ・電晶體閘極（Gate）氧化薄膜、氮化膜，電極材料等 ・SiO 2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al 2 O 2、SiNxOy、poly ......看更多
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