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殘留氣體分析儀在真空設備之應用__臺灣博碩士論文知識加值系統
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日期：2025-05-11
RGA主要是運用質譜儀的原理去偵測氣體分子，其主要構造包括離子源、四極柱質譜
儀以及離子量測器。當氣體樣品進入殘留氣體分析儀時，會被高速電子撞擊成不同 ......看更多
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