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水回收技術評選-以半導體廠

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日期：2025-06-23
7 結果與討論 CMP水質特性 CMP廢水種類： 金屬層研磨廢水/氧化層研磨廢水/金屬氧化層混合廢水 CMP廢水水質： 金屬層pH偏酸性(氧化劑) 、氧化層pH偏鹼性(pH緩衝劑)。有機物、界達電位偏高，水質穩定(分散劑、界面活性劑)...看更多

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