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準確測量高度/氣壓變化 電容式壓力計應用需求升溫 - 封面故事 - 新通訊元件雜誌
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日期：2024-05-08
MEMS壓力感測器在設計原理上，主要可分為壓阻式與電容式。壓阻式MEMS壓力計結構圖如圖1所示，其結構主要包含基板、薄膜與壓阻材料，其中基板會與薄膜形成一腔體，使薄膜在受到外界壓力時有變形的空間，而壓阻材料則設置於薄膜的周圍，亦即薄膜在 ......看更多
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