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無塵室與二次配搭配問題 | 李力技術工程
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日期：2025-05-02
功能部份:MAU負責外氣除濕及控制濕度,並且將製程排氣抽走的量補進無塵室內並維持室內正 壓.DRY COIL負責室內顯熱的降溫,FFU負責室內空氣的過濾維持清淨度,數量的多寡按照清淨度等級及換氣次數而定.無塵室的地板依照清淨等級不同有不同的形式,也有很 ......看更多
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