皮托科技Pitotech - 電漿(Plasma)在化學氣相沉積(CVD)製程之應用與特性(彰化)

皮托科技Pitotech - 電漿(Plasma)在化學氣相沉積(CVD)製程之應用與特性(彰化)

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日期:2025-12-01
本課程主要以COMSOL Multiphysics 4.3b內的 電漿模組(Plasma module)來模擬 電漿輔助化學氣相沉積( PECVD ......看更多