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真空幫浦抽氣性能檢測技術 - 國研院儀科中心 - 國家實驗研究院
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日期：2025-06-24
2011年5月27日 ... 真空幫浦依據抽氣原理不同可分為排氣式與儲氣式幫浦。而排氣式幫浦又可分為 ...
圖二(a)、真空幫浦抽氣速率檢測系統配置示意圖， 1. 測試腔體、2....看更多
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