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矽晶圓材料製造技術 - 豆丁网
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日期：2025-06-01
微電子材料與制程【第三章 矽晶圓材料製造技術】 3-1 前 言 `( o- j ( _1 L& i3 ]; R 矽晶圓(Silicon Wafer)材料之所以在諸多元素或化合物半導體材料中脫穎而出，成 為超大型積體電路(ULSI)之基材，其原因大致可歸納為以下兩項。...看更多
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