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化學機械平坦化- 維基百科，自由的百科全書 - Wikipedia
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日期：2025-05-03
1 背景; 2 工藝描述; 3 工作機理. 3.1 氧化矽拋光; 3.2 金屬拋光. 4 物料選用. 4.1 研磨
液; 4.2 拋光墊. 5 設備; 6 清洗; 7 應用 ......看更多
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