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空橋式微帶線微波干涉儀之研製__國立清華大學博碩士論文 ...
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日期：2025-06-27
... 控制壓力或射頻功率來達到製程的穩定。本研究改良梁耀文學長研製的脊型微帶線微波干涉儀，以期提高對介電係數或波長隨著電漿密度變化的改變量，而可增加每....看更多
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