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日期：2024-05-11
... 只不過是乾蝕刻中的物理性 蝕刻而已，而電漿蝕刻是指dry etch中的化學性蝕刻，雖然都是乾蝕刻~不過作用原理 還是有差別吧~~而我只是針對乾蝕刻中的電漿蝕刻討論而已 即Sputter Etching是指用將惰性的氣體分子如氬氣施以電施以電壓，利用衍生 ......看更多
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