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膜厚量測原理膜厚量測原理 - 中原大學物理系

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日期：2025-10-18
膜厚量測的原理與類型 a. In situ ＆即時量測 a. In situ ＆即時量測 b. 獨立量測. 3. 膜厚量測常見問題 a ... 相位變化，來獲得光學常數與膜厚的資訊。 流程：. 1 起偏器將 ......看更多

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