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薄膜之殘留應力分析 - 國研院儀科中心 - 國家實驗研究院
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日期：2025-05-29
2006年10月31日 ... 造成薄膜應力的主要來源有外應力(external stress)、熱應力(thermal stress) ... 將所
求得的R 帶入牛頓環應力公式，可求出薄膜殘留應力值(如圖三)。...看更多
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