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日期：2025-10-12
外加BIAS偏壓愈高，物理性蝕刻的效應也就愈強，導. 致蝕刻速率也跟著提高。 ...... 會不容易將殘餘物移除，並且會有微觀負載效應(較小孔徑. 蝕刻率會比大的孔徑蝕刻 ......看更多
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